VacuSeal™ Metallflächendichtungsverbindungen bieten eine extrem hohe Dichtheit und eignen sich daher für den Einsatz in kritischen Anwendungen, in denen ultrahochreine Bedingungen erforderlich sind, wie z. B. bei der Verbindung von Halbleiterwerkzeugen, Ventilboxen (VMBs) und Gasverteilungssystemen. Die Armaturen sind mit einer Gegendichtung und einem Ringkerndesign ausgestattet, wodurch eine Metall-Metall-Dichtung geschaffen wird und ein leckagefreier Betrieb von Vakuum bis 9000 psig gewährleistet ist.

VacuSeal™ Verschraubungen sind in Größen von 1/8 bis 1 Zoll und mit verschiedenen Körper- und Stopfbuchsenkonfigurationen für verschiedene Einsatzbereiche erhältlich. Sie werden in einem Reinraum der Klasse 100 aus patentiertem schwefelarmem Vericlean™ Edelstahl 316L von Veriflo hergestellt. Die Oberfläche wird standardmäßig auf 5µin (0,13µm) Ra elektropoliert, was Schmutzanhaftung reduziert und gleichzeitig eine außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit bietet. Stopfbuchsen sind in hochreinem Nickel und Hastelloy C-22® erhältlich, um Leistung und Zuverlässigkeit in extrem korrosiven Anwendungen zu gewährleisten.

VacuSeal™ Verschraubungen sind für die Verwendung mit Flachdichtungen und den selbstausrichtenden Gleitringdichtungen TorqTite™ von Verfilo konzipiert, für deren Montage keine Werkzeuge benötigt werden und die das Lösen von Bauteilen durch Temperaturschwankungen und Vibrationen verhindern. TorqTite™ gewährleistet die Abdichtung auch bei beschädigten Toroiden und ermöglicht die Anwendung eines extrem hohen Drehmoments ohne Beschädigung der Dichtfläche. Zusammen mit den ultrahochreinen Konstruktionsmaterialien der VacuSeal™ Armaturen wird dadurch die Partikelerzeugung minimiert und die Leckageintegrität in der Waferfertigung gewährleistet, bei der Sauberkeit von größter Bedeutung ist.

Alle VacuSeal™ Verschraubungen wurden erfolgreich einer Helium-Leckprüfung unterzogen, um Leistung und eine lange Lebensdauer in anspruchsvollen UHP-Anwendungen zu gewährleisten.

Märkte:
• Halbleitertechnik
• Werkzeugherstellung
• Analytische Laboratorien
• Pharmaindustrie
• Biopharmazie
• Luft- und Raumfahrt
• Industrie

Anwendungen:
• Korrosive Spezialgase
• Gasfördersysteme in der Halbleiterfertigung
• Halbleiterwerkzeuge
• Werkzeuganschlüsse
• Gasschränke
• Ventilboxen (VMB)

Merkmale/ Vorteile:
• Zwei Dichtheitsprüfungsanschlüsse für eine einfache Dichtheitsprüfung
• Leckagerate: ≤1 x 10-9 STD scc/s He
• 5 Ra intern elektropolierte Oberfläche
• Die Muttern werden mit einem verbesserten Beschichtungsverfahren für aggressive chemische Prozesse versilbert, die bei der Reinigung, Elektroreinigung und Passivierung eingesetzt werden.
• Die nichtdrehende Mutter verhindert die Übertragung des Drehmoments beim Zusammensetzen und minimiert somit die Verdrehung der Bauteile, was zu einer Spannungskonzentration führt.
• Die gegen ein Festfressen gesicherte Mutter sorgt für ein gleichmäßiges Zusammensetzen ohne Beschichtung oder Schmierung.
• Die patentierte TorqTite™ Dichtung berührt anfänglich die innere Verjüngung und drückt eingeschlossene Verunreinigungen radial nach außen.
• Der Schmelzcode auf der Buchse ermöglicht Rohstoffrückverfolgbarkeit
• Für das Entfernen von Komponenten von einem System ist kein Achsabstand erforderlich
• Glatter Übergang im Innendurchmesser minimiert Einschlussbereiche

Hastelloy C-22® ist eine eingetragene Marke von Haynes International, Inc.

UHP Verschraubung mit Metallflächendichtungsverbindung (Grössen bis 1 Zoll) – VacuSeal™