Name: 超高純度バルブ
Brand: Parker

超高純度バルブ

超高純度ガス配給システムで使用することを目的としています。設置コストを削減し、最大6インチまでの接続サイズに対応できるユニークな軽量設計を特徴としています。

様々な手動オペレータとエア作動式アクチュエータが用意されています。優れた信頼性、低い漏れ特性及び清浄度を備え、UHP半導体アプリケーションで使用するのに理想的です。

超高純度ガス配給システムで使用することを目的としています。優れた低い漏れ特性と絶対的な純度が不可欠な、高流量・低圧条件下でガスの優れた制御能力を提供します。

935Aと935Tシリーズは、最大2インチのチューブ接続を備えた½インチバルブです。

VR7シリーズは、マイナーなシートリークが発生した場合にレギュレータからの過剰な圧力を排出するように設計された経済的なリリーフバルブです。

PTFE製チェックバルブCV-1は、高純度半導体産業用途に設計され、さらに超純水や活性薬液またはガス用途にも最適の選択となります。

小さなフットプリントで最大0.90の高いCvを供給し、必要性の高いパネルスペースを節約します。半導体製造アプリケーション、VMB/VMP及びガスキャビネットメーカー向けです。

今や、薬液を大容量タンクから大口径のチューブやパイプで分配するバルクシステムがトレンドです。パーカーは業界で最大のフルオロポリマーチェックバルブを提供しています。

PV-20分岐バルブは、スラリー用途に使用するように設計されており、超純水やケミカルまたはガスの厳しい用途にも理想的です。

超高純度半導体向けRVシリーズPTFEリリーフバルブ。コンパクトで調整可。

NV70は、大量の腐食性・非腐食性流体に適した経済的なダイヤフラムバルブです。

2つのバルブを1つのコンパクトなボディに組み合わせているため、パージシステムをガスマニホールドに簡単に統合することができパージプロセスの効率を改善します。

手動オペレータ式及びエア作動式アクチュエータ。優れた信頼性、低い漏れ特性及び清浄度を備え、UHP半導体モジュラー表面実装システムアプリケーション用です。

様々な手動オペレータ式及びエア作動式アクチュエータが用意されています。優れた信頼性と低い漏れ特性を備え、UHP半導体モジュラー表面実装システムアプリケーションに理想的です。

945Yシリーズは、パージラインの統合を簡素化する二重弁です。

955シリーズは、UHP半導体用に最適です。

955Yシリーズダイアフラムバルブは、高流量を一体化。

MV-1シリーズは、半導体産業用の流体、超純水及び活性薬液用途に設計されています。

Parker Hannifin CorporationのVerifloディビジョンは、500シリーズの手動及び空気圧操作式ベローズバルブを提供しています。業界をリードするストレートスルー全流量で設計されています。

945シリーズダイヤフラムバルブは、高信頼性と漏れ防止性を提供します。

MV-6シリーズPTFEマニュアルボールバルブは耐食性と高耐久性を実現。

MV-20シリーズPTFEスラリーバルブは、半導体製造用です。

870シリーズダイヤフラムバルブは、高耐久性と優れた気密性を提供します。

970シリーズダイヤフラムバルブは、高耐久性と高密閉性を実現。

半導体製造でのガス・液体制御にBDVシリーズダイヤフラムバルブ。

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